Jenoptik: Weitere Investitionen im Berliner Technologiepark Adlershof

Jenoptik investiert erneut in modernste Anlagen für die Produktion von Halbleiterlasern.

Mit weiteren neuen Hightech-Anlagen stattet Jenoptik seinen Standort in Berlin aus und rüstet sich damit für die geplante Kapazitätserweiterung von Halbleitermaterial für Hochleistungsdiodenlaser. Der Produktionsstandort in Berlin-Adlershof ist auf die Herstellung von Halbleiterlasern spezialisiert. Die Fertigungslinie beinhaltet Epitaxie, Wafer-Prozessierung und Facettenbeschichtung. Investiert wird aktuell vor allem in den Front-End-Prozess der Wafer-Prozessierung und in die Facettenbeschichtung.

Für die Wafer-Prozessierung wird Jenoptik spätestens zum Jahresbeginn 2020 neue Metallisierungsanlagen in Betrieb nehmen. Damit werden verschiedene Metallschichten durch Bedampfen oder Sputtern auf Halbleiter aufgebracht. Darüber hinaus wird mit einer neuen Maschine das sogenannte Lift-Off-Verfahren modernisiert. Dieses dient dazu, die Fotolackmaske nach der Belichtung auf den Halbleitern wieder zu entfernen. Für den letzten Prozessschritt, die Facettenbeschichtung, setzt Jenoptik ab Herbst 2019 mit einer neuen Anlage zugleich eine neue Technologie ein, welche noch stärker zur Stabilisierung und höheren Ausgangsleistungen von Laserbarren führt.

Die technische Modernisierung aller Anlagen ermöglicht eine Produktion von Laserdioden mit einer höheren Ausgangsleistung und verbessert die Zuverlässigkeit. „Wir wollen mit den Neuinvestitionen die Gesamtkapazität der Fertigung erweitern, die Wertschöpfung in der Prozesskette erhöhen und die weltweite Auftragsabwicklung der Laser beschleunigen“, so Standortleiter Dr. Jürgen Sebastian.

Die Halbleiterlaserbarren von Jenoptik werden vorwiegend in den Bereichen Medizintechnik und Life Science eingesetzt, zum Beispiel für die Haarentfernung, sowie für Advanced Manufacturing-Technologien. Durch die getätigten Investitionen können neue Märkte adressiert werden, zum Beispiel LiDAR-Sensorikin der Automobilindustrie. In gleicher Weise können dank der neuen Produktionsausrüstung auch globale Forschungsprojekte in Europa, Asien und USA unterstützt werden.

Die Jenoptik-Fertigung in Berlin

Im Jahr 2002 wurde die JENOPTIK Diode Lab GmbH am Standort Berlin als Spin-off aus dem Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut für Hochfrequenztechnik (FBH) ausgegründet. Im Rahmen der Vereinheitlichung von Strukturen und Prozessen wurden alle Aktivitäten und Geschäfte im März dieses Jahres von der JENOPTIK Diode Lab GmbH in die JENOPTIK Optical Systems GmbH überführt und verankert.

Die komplette Prozesslinie der Fertigung von Halbleiterlasern findet in Reinräumen statt, die mit Klasse 100 und 1.000 (ISO 5 und 6) die strengen Reinheitsanforderungen für die Fertigung von Halbleiterlasern und Wafern erfüllen. Die Wafer werden hierbei strukturiert und zu Laserbarren verarbeitet, die anschließend weltweit an Kunden geliefert sowie in Jena zu Hochleistungsdiodenlasern weiterverarbeitet und in Lasersysteme integriert werden.

In den vergangenen Jahren hat sich die Produktionsstätte durch verschiedene Investitionen zu einer hochmodernen Hightech-Produktion weiterentwickelt. Nach einem umfangreichen Erweiterungsbau der Prozesslinie für die Herstellung von Halbleiterlasen im Jahr 2012 folgte im vergangenen Jahr eine Investition in einen neuen Stepper.